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        高溫CVD系統

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        高溫CVD系統

        • 所屬分類:cvd系統

        • 點擊次數:
        • 發布日期:2020/01/19
        • 規格:
        • 類型:
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        • 詳細介紹

        型號:BTF-1700C-CVD

        設備特點:

         

        此款1700℃高溫CVD系統,是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數,30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。

         

         

         

         

         

         

         

        加熱區參數

        爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

        加熱元件:硅鉬棒

        加熱區長度:300mm
        恒溫區長度:150mm
        工作溫度:1550℃
        高溫度:1650℃
        控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
        控溫精度:±1℃

        推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
        工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

        額定功率:5.2 KW

        外型尺寸:610×440×720 mm

        標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個;

        密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)

        端口可按實際使用擴展。

         

         

         

         

         

         

         

        氣路系統參數:

         

        質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

        準確度:±1.5%

        線性:±0.51.5%

        重復精度:±0.2%

        響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

        工作壓差范圍:0.10.5 MPa

        大壓力:3MPa

        接口:Φ6,1/4''

        顯示:4位數字顯示

        工作環境溫度:5~45高純氣體             

        內外雙拋不銹鋼管:Φ6

        壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

        截止閥:Φ6

        連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

        可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計。

         

         

         

         

         

         

         

        低真空系統參數:

         

        國產油泵型號:BSV-10

        抽速:10m3/h

        極限真空度:5*10-1pa

        電源:220v 50hz

        電機功率:0.4kw  

        進排氣連接口:KF25

        用油量:1.1L

        電機轉速:1440rpm

        工作環境溫度:5-40℃

        噪音:≤56db

        電阻真空計參數:

        1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

        2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

        3.測量路數: 1路

        4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

        5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

        6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

        7.功耗: 20W

        采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        高真空系統參數:

         

        空氣相對濕度:≤85%

        工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

        功率:1KW

        系統整體極限真空度:10-5Pa

        實驗真空度:10-3Pa

        外形尺寸:850×600×650mm

        機械泵:

        抽氣速率:10m3/h

        容油量:1.1L

        電機功率:400W

        極限壓強:6×10-2Pa

        分子泵:

        抽氣速率:100L/S

        極限壓強:6×10-6Pa

        啟動時間:<2min

        額定轉速:4300轉/分

        冷卻方式:環境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。

        分子泵控制器:

        電壓:220V±22V

        啟動電流:≤7A

        輸入頻率:47HZ—63HZ

        大輸出功率:≤150W

        大加速電壓:≤40V

        加速時間:≤3min

        頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                     低速430HZ±5HZ

        復合真空計:

        測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

        工作模式:手動/自動

        電阻單元參數

        規管型號:ZJ-52T電阻規

        測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

        有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

        控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

        電離單元參數

        規管型號:ZJ-27電離規

        可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

        有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

        控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

        規管除氣方式:焦耳去氣

        其他參數

        控制路數:4路

        控制方式:點動或區域控制/帶掉電記憶

        控制精度:±1%

        采樣時間:1S

        電源:220V±10% 50HZ

        功耗:50W

        使用環境溫度:0℃~45℃

        濕度:≤85%

        連接管路:

        采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s

        采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

         

         

         備注:

         

        可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。


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